2025年04月27日
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2025年4月，国产电子特气价格分化显著：三氟化氮（NF₃）价格从45万元/吨跌至38万元（产能过剩），但高纯六氟丁二烯（C₄F₆）价格仍高达1200万元/吨（99.9999%纯度）。这种冰火两重天背后，是半导体材料国产化的技术攻坚战。
1. 成熟制程“红海厮杀”
NF₃产能过载：昊华科技、中船特气等企业2025年NF₃产能达1.2万吨/年，但全球需求仅8000吨，导致价格战愈演愈烈；
六氟化硫（SF₆）替代：中科院过程所研发的C₃F₇CN绝缘气体，温室效应值（GWP）较SF₆降低99%，但成本是其3倍；
设备认证壁垒：国产特气通过ASML光刻机认证的仅2家（华特气体、金宏气体），导致高端市场仍被林德、空气化工垄断。
2. 先进制程“卡脖子”环节
C₄F₆“皇冠明珠”：3nm及以下制程中，C₄F₆作为核心蚀刻气体，全球仅日本关东电化、大金工业可量产，国产率不足5%；
锗烷（GeH₄）突围：南大光电实现9N级锗烷量产，打破德国默克垄断，但年产能仅50吨，仅够满足10万片12英寸晶圆需求；
价格倒挂之谜：国产C₄F₆成本较进口低30%，但售价反而高15%，源于下游晶圆厂“保供”心理下的溢价支付。
3. 未来战场：光刻气与量子材料
ArF/KrF光刻气：雅克科技投资20亿元建设准分子激光气体产线，目标2026年实现193nm光刻气国产替代；
量子特气：中科富海研发的氦-3/氘混合气，可用于量子计算芯片冷却，但全球年产量仅300升，价格堪比黄金。
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